XLA/XLAV（波紋管密封,單一的表演）Particulate-free和潔凈室兼容煽風點火類型Pressure-balance機制XLC/XLCV（波紋管密封,雙動）Particulate-free和潔凈室兼容煽風點火類型Pressure-balance機制XLF/XLFV（o形環密封,單一的表演）低氣體夾帶就業的o形環密封系統高速度響應通過一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

日本SMC鋁制高真空L型閥XLG/XLGV（o形環密封,雙動）低氣體夾帶就業的o形環密封系統高速度響應通過一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

XLD/XLDV（2-Step控制、單表演）初期排氣閥和主要排氣閥結合起來。2-step（流量控制閥）設計了一種緊湊系統和減少管道防止顆粒湍流內0.9%室在疲憊。

防止泵運行時超載。

初始排氣閥流量可調。

XLH（波紋管密封、手動）波紋管式微粒自由及清洗。

壓力平衡機制允許無限制排氣的方向。

低驅動力矩（0.5牛頓·米或更少）春天提供標準的密封負載。

處理高度是一樣的密封圈,當閥門開啟或關閉。

確認指示器開啟和關閉閥門是標準配置。

波紋管的壓力平衡,XLS（正常關閉XLS電磁）微粒也會減少,因為那里沒有滑動金屬部分。

壓力平衡機制允許無限制排氣的方向。

控制電源電路的電磁閥驅動已經取得了標準。

可以用于便攜式設備因為空氣為驅動器是沒有必要的。

XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個低容量泵和也疏散時間縮短。

這種閥門不包含等重金屬鎳（鎳）或鉻（）和低鉻濺射產量也可幫助重金屬污染zui小化的半導體器件晶圓。

優良的熱傳導性的結果在均勻溫度為整個閥體、明顯下降在氣體內冷凝閥。

問囊括的沒有汽車開關（沒有內建的磁鐵）的話固態自動開關沒有汽車開關（帶內置磁鐵）里德汽車開關（并不適用法蘭尺寸16）汽車開關類型t如何訂購象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式XLAXLA/XLAV系列鋁高真空角閥正常關閉/波紋管密封問法蘭尺寸大小y數量的汽車開關/安裝的位置象征零ABC數量沒有汽車開關2件。

安裝的位置-閥門開啟和關閉開啟閥門閥門處于關閉狀態r溫度規格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲

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“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLA-16-M9NA-XAN1A注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數量的“建構”為改變部分14頁。

部件號碼的數字表示“建構”進行相應的調整。

XLC問t y16 M9N一個你是囊括的鋁高真空角閥雙動/波紋管密封XLC/XLCV系列問法蘭尺寸大小162540506380y數量的汽車開關/安裝的位置象征零ABC數量沒有汽車開關2件。

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注2）,是指零件數目的“建構”18頁上的改變部分。部件號碼的數字表示“建構”進行相應的調整。

汽車開關并非是適用于高溫規格（溫度規格,H2,H3 H0）。加入“L”末端的部件編號當3米,是理想的,“m”當1米,和“Z”當5米。

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zui后的部分,當數字3米,是理想的,“m”當1米,和“Z”當5米。

密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

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例）XLF-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內部13×10 - 10（FKM）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數量的“建構”為改變部分第22頁。

部件號碼的數字表示“建構”進行相應的調整。

注2）訂做的規格（有關詳情,請參閱第24頁至29）20鋁高真空角閥正常關閉/ o形環密封XLF/XLFV系列如何訂購法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對法蘭面問法蘭尺寸大小162540506380100160艾凡指標/飛行員港口方向象征零AFGJKLM指標沒有指標試點港方向與指標沒有指標法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面左法蘭面后方法蘭面對法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、法蘭連接式象征EVL AV畝嗨你CAV汞148.5117117 3XLA-16-X65艾凡一個0問2:1r7.5鋁高真空角閥/正常關閉/ o形環密封系列XLF定制規格1請咨詢與SMC詳細尺寸規格和交貨。

帶旁路閥（法蘭尺寸:80）（40）（40）（40）導聯線長度:500毫米（L型:3000毫米）刮刀（FKM）軸封（FKM）飛行員端口:旁路閥門調節螺母排氣（初始）調整1毫米/旋轉音高:

Rc1/8試點港:

鎖緊螺母平面寬度在13部件沒有。

122:13456788 - 18勝2負910身體閥帽組件o形環六角套筒頭帽螺絲o形環計算機銘板汽車開關指標旁路閥門o形環o形環o形環六角套筒頭帽螺絲A6063指部分沒有。

M10、l = 60指部分沒有。

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M4、l = 40描述資料的話o形環零件號碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U1外部密封內部密封2:1 ro形環零件號碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U18 - 8勝2負外部密封內部密封外部密封o型注）一層真空油脂（氟油脂:Y-VAC2）應用于軸封、刮板和o形環o型。

B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1AS568-045VAS568-045-XN1AS568-045-XP1AS568-045-XQ1AS568-045-XR1AS568-045-XR2AS568-045-XR3AS568-045-XS1AS568-045-XT1AS568-045-XU1B2401-V15VB2401-V15-XN1B2401-V15-XP1B2401-V15-XQ1B2401-V15-XR1B2401-V15-XR2B2401-V15-XR3B2401-V15-XS1B2401-V15-XT1B2401-V15-XU1AS568-025VAS568-025-XN1AS568-025-XP1AS568-025-XQ1AS568-025-XR1AS568-025-XR2AS568-025-XR3AS568-025-XS1AS568-025-XT1AS568-025-XU1AS568-017VAS568-017-XN1AS568-017-XP1AS568-017-XQ1AS568-017-XR1AS568-017-XR2AS568-017-XR3AS568-017-XS1AS568-017-XT1AS568-017-XU1不銹鋼不銹鋼24作出秩序如何訂購問法蘭尺寸大小162540506380y數量的汽車開關/安裝的位置象征零ABC數量沒有汽車開關2件。

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加入“L”的zui后部分3米,是理想的數量時,“m”時,可達1米“Z”當5米。

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注2）,是指零件數量的“建構”32頁為改變的部分。

部件號碼的數字表示“建構”進行相應的調整。

注3）部分e（外部密封）是不可改變規格為16至25歲。

注2）訂做的規格（詳情,請參閱第34頁到43）30作出秩序XLD問囊括的如何訂購問法蘭尺寸大小2540506380艾凡試點港方向象征零KLM試點港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭25法蘭連接式后方法蘭面左法蘭面對法蘭面法蘭邊注）25碼的不適用于H2。

r溫度規格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°Cy數量的汽車開關/安裝的位置象征零ABC數量沒有汽車開關2件。

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zui后的部分,當數字3米,是理想的,“m”當1米,和“Z”當5米。

你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

Chemraz

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“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLD-25-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有魏

注2）,是指零件數量的“建構”頁47為改變的部分。

部件號碼的數字表示“建構”進行相應的調整。

注3）的變化,以密封材料的部分號碼r S閥密封總成是*適用規格為25歲,40到50。

注2）,3）44鋁高真空角閥2-Step控制、單經銷商/波紋管密封,o形環密封帕特。

XLD/XLDV系列XLS 25 - P - 1克XLS - 25 - 5克DTCGDIN終端終端水管Grommet電氣入口95別人（48歲,100伏直流電）24伏直流電起始電壓注）維持電壓是25%的起始電壓。

無控制電源電源和控制高真空角閥（波紋管壓力平衡,2段電壓開關型）閥門通徑1625KF16KF25控制電源P與控制電源125100伏交流電200伏交流電24伏直流電電壓G Grommet電氣入口警告（1）如沒有控制電源（XLS-25 - VDC）,開始:24/48/100電壓應該申請只0.15%到0.2 s,按照規定的方法（上所注明的線圈）的后面。不斷起始電壓應用的原因過熱的線圈和火。控股電壓是25%的起始電壓（申請書嗎方法是顯示在后面的電磁線圈）。

開始電壓例）電壓6伏直流電0.15%到0.2時間（s）24伏直流電控股電壓52鋁高真空角閥電磁/波紋管壓力平衡如何訂購系列XLS55常見的選擇項目熱水器額定電壓90到125伏交流電加熱器（名義值）的功率WIn-rush /電力消費（期權標志）XL-25-200/30XL-40200/40400/70XL-50200/60400/80XL-63400/100600/130XL-80600/150800/180XL-100800/2201200/300XL-1601200/3501600/400H2 100°CH3 120°C注）的電流就In-rush加熱為幾十秒,然后將平息下來。

請參閱“維修零件”61頁為進一步的細節關于數量和類型。

1加熱器常見的閥門加熱器,XLD模型,XLC XLA XLG和XLH,XLF,。

功耗規格列于下表。

XLXLQD -XVDXGTCYVXMXY3256詞匯密封材料請注意,以下是一般特點和主題改變依靠加工條件。有關詳情,請與我們manufacturerers密封組件。

粉碎FKM）（新法,低permanent-setting較低和較低的氣體滲透利率,這是的密封材料為高真空。

標準材質采用SMC的高真空使用角度三菱電纜行業閥門有限公司。（沒有。1349化合物-80）。

明智的做法是選擇一款造型依靠它的應用,提出了一種改進的材料復合（因為3310-75）從而降低體重減薄率與O2等離子體是可用的。

KalrezKalrez是一個注冊商標的杜邦公司績效彈性體。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優良的熱和耐化學腐蝕性能,但它是大的,permanent-setting特別謹慎是必需的。用改進后的變化是可得到的等離子體（O2,CF4）和顆粒電阻,所以它選擇類型是明智的基礎上應用。

沒有。4079化合物:標準Kalre*良、氣體和耐熱性。

ChemrazChemraz是一個注冊商標的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優良的化學物質和等離子體電阻值的稍高的耐熱性比FKM。好幾個不同的Chemraz是可得到的明智的做法是,選擇基于特定的等離子體被用來和其他條件,等。

桶桶等是一個注冊商標等的Matsumura石油有限公司。

Perfluoroelastomer 70W號:化合物（FFKM）而未含有金屬填料。可抵御、NH3 NF3。低顆粒發生在干燥的工藝條件。

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Fluoro-based橡膠,不含金屬填料。密封這是plasma-resistant材料,具有較低的氣體通量密度和耐熱性。

硅橡膠、硅樹脂（VMQ）這種材料也相對便宜,具有良好的等離子體阻力,但它的氣體滲透率高。

可選的密封材料用SMC的高真空角閥三菱電纜行業是有限責任公司。（沒有。1232-70化合物,白色）它有一個低減肥比、低顆粒污染的發生在O2等離子體和NH3氣體環境。

三元乙丙橡膠（Ethylenepropylene橡膠）較低的定價,良好的耐候性、化學和耐熱性,但沒有抵抗,一般在把所有的礦物油。可選的密封材料所使用的高真空SMC角度三菱電纜行業閥門有限公司。（復合不。

2101-80）耐氨氣體等。

優良的物理性能,尤其是有效的運轉件。

適用于固定和移動部分和兼容各種各樣的應用。

Chemrazzui干凈的資料中,發達的高密度等離子體的樂器。

方法1軸封波紋管波紋管密封與降低粒子提供干凈的世代和更少的新法。兩大類型:Formedbellows慘叫和Welded-bellows。Formed-bellows少產生灰塵灰塵或提供更高的抵抗。Welded-bellows允許中風,但長產生更多的塵埃和提供更少灰塵的抵抗。請注意,忍耐取決于長度和速度的中風。

o形環,等。

由于誘導作用對氣體的生成和微粒、真空性能略遜于波紋管類型。

然而,高速運轉是可能的和耐用性比較高。一般來說,氟油脂加蓋軸封分。

響應時間/操作時間的開啟閥門從應用的電壓驅動等閥（XL）直至90%的閥門沖程已經完成開啟閥門的響應時間。開啟閥門操作時間的從一開始就表明了時間的中風,直到90%的運動任務已經完成了。這兩種變得更快了操作壓力增加。

閥門關閉從切斷了電力的電磁閥的驅動（XL）直至90%的閥門是中風已完成回歸閥門關閉響應時間。閥門關閉操作時間的表示從閥門開啟度的時間回來直到90%的運動任務已經完成了。這兩種變慢的操作壓力增加。58XL系列特定產品的預防措施1一定要讀在處理。

設計氣動角閥/系列（V）,XLC XLA（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）所有模型1。對于高真空閥門用于主要的排氣管線死板顯示面板的生產設備和其他大型制造設備,XLF（V）或XLG（V）系列、用人o形環密封型,為改善耐久性、是被推薦的。

2。當控制閥門的回應,注意到的尺寸和長度的管道,以及流量的特點電磁閥的工作。

3。工作壓力應保持在規定的范圍內。

0.4 - 0.5 MPa是被推薦的。

4。使用范圍內操作壓力范圍。

5。驅動的活塞室和波紋管腔[除了XLF（V）/ XLG（V）]能直接連接到大氣中。

請用在一個環境中,粉塵排放將不是根本原因問題。（請參閱SMC如果釋放塵埃必須避免的。）高溫/類型,XLC XLA XLD XLG,XLF,,1。在案件的氣體,造成大量的存款,熱閥體閥門,以防止礦床。

選擇小心所有模型1。在高濕度環境,保持閥門包裝直到時間安裝。

2。萬一與開關和電磁閥,以便確保導線他們有足夠的蕭條的時候,沒有任何不合理的力量適用于他們。

3。所以,過度執行管道武力不是用于法蘭部分。萬一有振動的重的物體或附件,等他們,使轉矩、安全不是直接用于法蘭之間。

安裝小心室真空泵波紋管側閥側推薦排氣方向[真空泵連接對波紋管側）所有模型1。是A6063閥體材料、風箱也是不銹鋼的316L、及其他金屬密封材料采用不銹鋼304。標準密封材料的真空區是FKM,即可其他材料的性質發生變化（請參閱“如何訂購”）。

使用流體是兼容與材料后確認。

2。選擇材料做的沖動的壓力管道,和耐熱性為配件,這適合于適用的操作溫度范圍內正常工作。

與汽車開關/ XLA模型（V）,XLC（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）1。開關部分應該是保持在一個溫度沒有更大的了超過60°C。

模型,XLC加熱器,XLD/XLA,XLG,XLF1。當使用一個模型,一個加熱器（熱敏電阻器）,一個裝置應該被安裝,以防止經濟過熱。

電磁閥/ XLAV模型,XLDV,XLCV,XLGV XLFV,1。為模型,用電磁閥電磁閥的溫度閥門段也應不大于50°C。

警告1。安裝前,清潔表面的法蘭密封,打鼾與乙醇等。

2。有一個0.1至0.2毫米凹陷的為了保護法蘭密封表面,它應該如何處理,使密封表面并沒有被損壞。

3。排氣方向在運行過程中,方向的排氣可能是確定的在這種情況下的自由,但是流的地方產生的廢氣、在耐久性下降可能的結果。

排氣方向下面（圖中波紋管的一面排氣）是被推薦的。

請把所有可用的預防措施,為設備的使用壽命是受條件的用法。

管道小心4。正常操作,抗震性允許長達30米/ s2（45到250赫茲）,但持續下降振動可能引起耐久性。為了避免過度安排管道振動或沖擊的影響。

高溫類型（模型/ XLA XLC XLF,XLD,,,XLG;溫度規格/ H0,H2,H3）1。在模型與加熱器（熱敏電阻器）,小心不要造成的傷害絕緣零件的導線、連接器的部分。

2。設置熱水器溫度應該建立模型沒有匯票或隔熱。它將改變不同在條件如熱保留措施和供暖其他的管道。一些細微調整,針對的是不可能的。

3。當安裝熱水器配件或安裝一個加熱器、檢查絕緣電阻在實際的工作溫度。一個短線路斷路器或保險絲應該安裝。

4。當一個閥門需要加熱,只有軀體部分應該是加熱時,不含蓋部分。

5。當一個加熱器在操作中,整個閥會變熱。是小心,不要碰它,因為燃燒光用手就將會產生。